Description

產(chǎn)品類型:晶圓傳輸機器人組件

適用晶圓直徑:320毫米

機器人類型:傳輸機器人

工作范圍:320毫米

定位精度:±0.02毫米

重復(fù)定位精度:±0.01毫米

最大負載能力:5公斤

驅(qū)動方式:伺服電機驅(qū)動

控制系統(tǒng):PLC控制器

防護等級:IP65

重量:約20公斤

尺寸:長x寬x高（毫米）：500x300x400

    Dynax 65AX-089 320mm半導(dǎo)體晶圓傳輸機器人組件采用先進的伺服電機驅(qū)動系統(tǒng)，確保了高速度和高精度的晶圓傳輸。

    其PLC控制系統(tǒng)提供了穩(wěn)定可靠的運行保障，能夠在嚴苛的工業(yè)環(huán)境中持續(xù)作業(yè)。

    該組件由高強度鋁合金制成，具有優(yōu)異的耐腐蝕性和機械強度。

    設(shè)計上采用了模塊化理念，便于安裝和維護。

    此外，其IP65防護等級使得該機器人組件能夠在多種環(huán)境下可靠工作，無論是干燥還是潮濕的車間環(huán)境。

    通過精確的定位系統(tǒng)和智能的控制系統(tǒng)，該組件能夠有效提高晶圓生產(chǎn)線的效率和可靠性，是半導(dǎo)體制造行業(yè)的理想選擇。